Tikslusis apdirbimas reiškia bendrą apdirbimo tikslumo ir paviršiaus apdailos terminą, viršijantį įprastus apdailos būdus. Tai daugiausia apima tikslų pjovimą (pvz., deimantinį gręžimą ir tikslų tekinimą) ir didelio{1}}tikslaus šlifavimo. Jo apdirbimo tikslumas paprastai yra 10–0,1 μm, tolerancijos laipsnis IT5 arba didesnis, o paviršiaus šiurkštumas Ra mažesnis nei 0,1 μm. Šiam procesui reikia didelio-tikslumo staklių ir smulkiai šlifuotų pjovimo įrankių, kad būtų pasiektas didelis-tikslus apdirbimas dėl itin mažo pjovimo gylio ir padavimo greičio. Puslaidininkių lazerinio apdorojimo įrangoje taikomos tokios technologijos kaip lazerinis įbrėžimas, žymėjimas ir atjungimas, taip pat projektuojamos ir gaminamos didelio tikslumo optinės sistemos.
Šis procesas apima tokias technologijas kaip tikslus puslaidininkinių švino rėmų štampavimas ir aviacinių variklių menčių apdirbimas.{0}} mano šalis pasiekė sub-nanometro-lygio optinių komponentų apdirbimo tikslumą, peržengdama pagrindines technologijas, tokias kaip magnetorheologija ir jonų pluošto poliravimo įranga. Politinės iniciatyvos siūlo proveržį pagrindinėse tikslaus formavimo ir lengvo medžiagų apdorojimo technologijose, sudarant bendradarbiaujančią medžiagų, procesų ir pritaikymo naujovių sistemą lengvųjų automobilių svorių srityje. Jonų pluošto poliravimo mašinos pasiekė minimalų kontroliuojamą 0,1 nanometro medžiagos pašalinimo greitį, o tai suteikia techninę paramą dideliems nacionaliniams mokslo ir technologijų projektams, tokiems kaip integrinių grandynų gamyba.
